真空熱壓爐主要由爐體、爐門、加熱與保溫及測溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)等組成。真空熱壓爐為周期作業(yè)式,廣泛應用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結(jié)處理,也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結(jié)。
真空熱壓爐是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具,在5噸壓力下可鍵合多層基片。爐子可以加熱到1100℃并且30段程序控溫。帶水冷的法蘭可使真空度達到10-5Torr(用分子泵)。真空熱壓爐廣泛應用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結(jié)處理,也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結(jié)。
爐體為立式爐殼,其內(nèi)層為不銹鋼制成的圓筒,外層為碳鋼。爐體分為兩部分,其中三分之一為爐蓋可手動*側(cè)開門,三分之二部分為固定爐體,設計*,便于操作。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走,使爐壁溫度不超過60℃,其上下法蘭焊接為一個整體。中間開有紅外測溫孔(有保護氣氛通氣口),熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔,鉑銠熱電偶有到溫自動退出裝置,紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置,操作人員使用的觀察孔設有擋板。
真空系統(tǒng):由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥(防止因突然停電、機械泵油倒灌)充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表(±Pa)波紋管、真空管路和支架等組成。
液壓系統(tǒng):采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺(測距精度0.02mm)、液壓缸等相關(guān)液壓裝置,壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設定自動調(diào)節(jié)壓力,并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
水冷系統(tǒng):由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設有斷水聲光報警自動切斷加熱源或功能。
溫控系統(tǒng):采用可控硅控溫,配置有PID功能儀表,數(shù)顯表,具有超溫聲光報警功能,也可選用PLC觸摸屏自動控制,并保留歷史數(shù)據(jù),便于分析燒結(jié)過程。
充氣系統(tǒng):由各種管道及閥門組成,并配有電磁放氣閥、壓力傳感器,當爐內(nèi)壓力高于安全值時會自動放氣,充氣管路上裝有針閥,可控制充氣量